(Teorik ve Uygulamalı Mekanik Türk Milli Komitesi, 2011)
Arkan, Evren F.; Sacchetto, Davide; Yıldız, İzzet; Leblebici, Yusuf; Koç, B. Erdem Alaca
Sİ Nanotellerin (SiNT’lerin) mekanik özelliklerinin test edilebilmesi için yeni bir üretim yöntemi geliştirilmiştir. Söz konusu üretim yöntemiyle üretilen cihazlarda 50 Dm uzunluğa sahip SİNT’ler ve mikron altı SiNT-elektrot boşluklu yapılar elde edilmiştir. Üretim yöntemi sadece optik litografi kullanarak yüksek ölçeklenebilirlik göstermiştir. Elde edilen cihazların SİNT'leri üzerinde yapılan 3 noktalı eğilme testleri ile yapıların teorik mukavemete yakın bir değerde kırıldığı ve mesnet noktalarının son derece sağlam olduğu gözlemlenmiştir. 3 noktalı eğilme testlerine ilaveten nloktrostatik tahrik ve sığa okuması vasıtasıyla SiNT’lerin çınlanım testleri icra edilmiştir. Yapılan im,iler sonucunda [010] yöneliminde, beklenen elastisite modülüne yakın değerler ölçülmüş aynı zamanda silisyum içerisindeki iç gerilmeler hesaplanmıştır.