Sİ Nanotellerin Mekanik Çınlaç Olarak Üretimi ve Testi
Sİ Nanotellerin Mekanik Çınlaç Olarak Üretimi ve Testi
Dosyalar
Tarih
2011
Yazarlar
Arkan, Evren F.
Sacchetto, Davide
Yıldız, İzzet
Leblebici, Yusuf
Koç, B. Erdem Alaca
Süreli Yayın başlığı
Süreli Yayın ISSN
Cilt Başlığı
Yayınevi
Teorik ve Uygulamalı Mekanik Türk Milli Komitesi
Theoretical and Applied Mechanical Turkish National Committee
Theoretical and Applied Mechanical Turkish National Committee
Özet
Sİ Nanotellerin (SiNT’lerin) mekanik özelliklerinin test edilebilmesi için yeni bir üretim yöntemi geliştirilmiştir. Söz konusu üretim yöntemiyle üretilen cihazlarda 50 Dm uzunluğa sahip SİNT’ler ve mikron altı SiNT-elektrot boşluklu yapılar elde edilmiştir. Üretim yöntemi sadece optik litografi kullanarak yüksek ölçeklenebilirlik göstermiştir. Elde edilen cihazların SİNT'leri üzerinde yapılan 3 noktalı eğilme testleri ile yapıların teorik mukavemete yakın bir değerde kırıldığı ve mesnet noktalarının son derece sağlam olduğu gözlemlenmiştir. 3 noktalı eğilme testlerine ilaveten nloktrostatik tahrik ve sığa okuması vasıtasıyla SiNT’lerin çınlanım testleri icra edilmiştir. Yapılan im,iler sonucunda [010] yöneliminde, beklenen elastisite modülüne yakın değerler ölçülmüş aynı zamanda silisyum içerisindeki iç gerilmeler hesaplanmıştır.
Açıklama
Konferans Bildirisi -- Teorik ve Uygulamalı Mekanik Türk Milli Komitesi, 2011
Conference Paper -- Theoretical and Applied Mechanical Turkish National Committee, 2011
Conference Paper -- Theoretical and Applied Mechanical Turkish National Committee, 2011