Sİ Nanotellerin Mekanik Çınlaç Olarak Üretimi ve Testi

Abstract

Sİ Nanotellerin (SiNT’lerin) mekanik özelliklerinin test edilebilmesi için yeni bir üretim yöntemi geliştirilmiştir. Söz konusu üretim yöntemiyle üretilen cihazlarda 50 Dm uzunluğa sahip SİNT’ler ve mikron altı SiNT-elektrot boşluklu yapılar elde edilmiştir. Üretim yöntemi sadece optik litografi kullanarak yüksek ölçeklenebilirlik göstermiştir. Elde edilen cihazların SİNT'leri üzerinde yapılan 3 noktalı eğilme testleri ile yapıların teorik mukavemete yakın bir değerde kırıldığı ve mesnet noktalarının son derece sağlam olduğu gözlemlenmiştir. 3 noktalı eğilme testlerine ilaveten nloktrostatik tahrik ve sığa okuması vasıtasıyla SiNT’lerin çınlanım testleri icra edilmiştir. Yapılan im,iler sonucunda [010] yöneliminde, beklenen elastisite modülüne yakın değerler ölçülmüş aynı zamanda silisyum içerisindeki iç gerilmeler hesaplanmıştır.