Gözenekli Titanyum Oksinitrür Yapıların Anodik Oksidasyon Yolu İle Üretilmesi Ve Karakterizasyonu

Abstract

Bu çalışmada, Katodik Ark FBB yöntemi ile TiN kaplanan numunelerin anodik oksidasyonu ile geniş yüzey alanına sahip, nanotüp yapısında ve gün ışığında yüksek fotoaktivite gösteren titanyum oksinitürlerin elde edilmesi amaçlanmıştır. Bu amaçla TiN kaplı numuneler, 10 – 80 V aralığında değişen potansiyel değerlerinde, etilen glikol (ağ. % 0,3 NH4F, % 2 H2O) çözeltisi içerisinde anodize edilmiştir. Anodize edilmiş numunelerin karakterizasyonu FE-SEM, XRD ve mikro-Raman spektroskopisi ile yapılmıştır. Numune yüzeyindeki oksijen ve azota ait derinlik profilini görmek için GD-OES (Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy) yöntemi kullanılmıştır. Ayrıca filmlerin optik absorbans özellikleri UV-Vis. spektoskopisiyle belirlenmiştir.The aim of this study is to obtain titanium oxynitride nanotube films having high surface area and good photoactivity properties in the visible region. For this purpose, samples were coated with TiN by Catodic Arc PVD method and then anodized in ethylene glycol (% 0,3 wt. NH4F, % 2 H2O) solution at different potential values between 10 – 80 V. The characterization of the anodized samples was performed by FE-SEM, XRD and micro-Raman spectroscopy. GD-OES (Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy) was used to see the profile of depth belongs to oxygen and nitrogen on the surface of samples. Furthermore the absorption properties of the films were determined with UV-Vis spectroscopy.