Katkılı Ve Katkısız Çinko Oksit (zno) İnce Filmlerin Hazırlanması Ve Karakterizasyonu

dc.contributor.advisor Tepehan, Fatma Z. tr_TR
dc.contributor.author Sorar, İdris tr_TR
dc.contributor.department Fizik Mühendisliği tr_TR
dc.contributor.department Physics Engineering en_US
dc.date 2008 tr_TR
dc.date.accessioned 2009-02-03 tr_TR
dc.date.accessioned 2015-07-09T11:50:54Z
dc.date.available 2015-07-09T11:50:54Z
dc.date.issued 2009-02-06 tr_TR
dc.description Tez (Doktora) -- İstanbul Teknik Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, 2008 tr_TR
dc.description Thesis (PhD) -- İstanbul Technical University, Institute of Science and Technology, 2008 en_US
dc.description.abstract Şeffaf iletken çinko oksit (ZnO) ve silisyum (Si), aluminyum (Al), galyum (Ga) ve bunların ikili kompozisyonları ile katkılandırılmış ZnO ince filmler sol-jel spin kaplama metodu ile Corning 2947 taşıyıcılar üzerine hazırlandı. Sol ve katkı konsantrasyonu ve ısıl işlem sıcaklığının çinko oksit ince filmlerin optik, yapısal ve elektriksel özellikleri üzerine etkisi araştırıldı. Bu çalışmada, farklı sol konsantrasyonları ve ısıl işlem süreleri için taşıyıcıdan gelen sodyum difüzyonunun etkisi de analiz edildi. Optik parametreler bir NKD spektrofotometresinden elde edildi. Filmlerin kristal yapısı ve yüzey morfolojisi sırasıyla X-Işını Kırınımı (XRD) ve Atomik Kuvvet Mikroskobu (AFM) ile analiz edildi. Filmlerin derinlik profil analizleri GD-OES (Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy) cihazı ile yapıldı. Elektriksel özdirençler dört-nokta prob tekniği ile belirlendi. tr_TR
dc.description.abstract Transparent conducting zinc oxide (ZnO) and silicon (Si), aluminum (Al), gallium (Ga) and their binary combinations doped ZnO thin films were prepared on Corning 2947 substrates by sol-gel spin coating method. The effect of sol and dopant concentration and annealing temperature on the optical, structural and electrical properties of zinc oxide thin films was investigated. In this study, the effect of sodium diffusion from the substrate was also analyzed for different sol concentrations and annealing times. Optical parameters were obtained from an NKD spectrophotometer. The crystalline structure and surface morphology of the films were analyzed by X-Ray Diffraction (XRD) and Atomic Force Microscopy (AFM), respectively. Depth profile analysis of films was performed with GDOES (Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy) instrument. Electrical resistivities were determined by four-point probe technique. en_US
dc.description.degree Doktora tr_TR
dc.description.degree PhD en_US
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/11527/7177
dc.publisher Fen Bilimleri Enstitüsü tr_TR
dc.publisher Institute of Science and Technology en_US
dc.rights İTÜ tezleri telif hakkı ile korunmaktadır. Bunlar, bu kaynak üzerinden herhangi bir amaçla görüntülenebilir, ancak yazılı izin alınmadan herhangi bir biçimde yeniden oluşturulması veya dağıtılması yasaklanmıştır. tr_TR
dc.rights İTÜ theses are protected by copyright. They may be viewed from this source for any purpose, but reproduction or distribution in any format is prohibited without written permission. en_US
dc.subject Çinko oksit tr_TR
dc.subject sol-jel tr_TR
dc.subject optik özellikler tr_TR
dc.subject yapısal özellikler tr_TR
dc.subject elektriksel özellikler tr_TR
dc.subject Zinc oxide en_US
dc.subject sol-gel en_US
dc.subject optical properties en_US
dc.subject structural properties en_US
dc.subject electrical properties en_US
dc.title Katkılı Ve Katkısız Çinko Oksit (zno) İnce Filmlerin Hazırlanması Ve Karakterizasyonu tr_TR
dc.title.alternative Preparation And Characterization Of Doped And Undoped Zinc Oxide (zno) Thin Films en_US
dc.type Thesis en_US
dc.type Tez tr_TR
Dosyalar
Orijinal seri
Şimdi gösteriliyor 1 - 1 / 1
thumbnail.default.alt
Ad:
9077.pdf
Boyut:
10.66 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Açıklama
Lisanslı seri
Şimdi gösteriliyor 1 - 1 / 1
thumbnail.default.placeholder
Ad:
license.txt
Boyut:
3.14 KB
Format:
Plain Text
Açıklama