Silisyum'un yönlü aşındırılması ve mikroalgılayıcılar
Silisyum'un yönlü aşındırılması ve mikroalgılayıcılar
| dc.contributor.advisor | Leblebici, Duran | |
| dc.contributor.author | Aldemir, F. Ali | |
| dc.contributor.authorID | 14425 | |
| dc.contributor.department | Elektronik Mühendisliği | tr_TR |
| dc.date.accessioned | 2023-03-16T05:48:59Z | |
| dc.date.available | 2023-03-16T05:48:59Z | |
| dc.date.issued | 1991 | |
| dc.description | Tez (Yüksek Lisans) -- İstanbul Teknik Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, 1991 | tr_TR |
| dc.description.degree | Yüksek Lisans | tr_TR |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11527/22665 | |
| dc.language.iso | tr | |
| dc.publisher | Fen Bilimleri Enstitüsü | tr_TR |
| dc.rights | Kurumsal arşive yüklenen tüm eserler telif hakkı ile korunmaktadır. Bunlar, bu kaynak üzerinden herhangi bir amaçla görüntülenebilir, ancak yazılı izin alınmadan herhangi bir biçimde yeniden oluşturulması veya dağıtılması yasaklanmıştır. | tr_TR |
| dc.rights | All works uploaded to the institutional repository are protected by copyright. They may be viewed from this source for any purpose, but reproduction or distribution in any format is prohibited without written permission. | en_US |
| dc.subject | Elektrokimyasal aşındırma | tr_TR |
| dc.subject | Silisyum | tr_TR |
| dc.subject | Yarı iletkenler | tr_TR |
| dc.subject | Electrochemical etching | en_US |
| dc.subject | Silicon | en_US |
| dc.subject | Semiconductors | en_US |
| dc.title | Silisyum'un yönlü aşındırılması ve mikroalgılayıcılar | tr_TR |
| dc.title.alternative | Anisotropic etching of silicon and microsensors | en_US |
| dc.type | Master Thesis | tr_TR |