Silisyum'un yönlü aşındırılması ve mikroalgılayıcılar

thumbnail.default.alt
Dosyalar
14425.pdf (3.88 MB)
Tarih
1991
Yazarlar
Aldemir, F. Ali
Süreli Yayın başlığı
Süreli Yayın ISSN
Cilt Başlığı
Yayınevi
Fen Bilimleri Enstitüsü
Özet
Açıklama
Tez (Yüksek Lisans) -- İstanbul Teknik Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, 1991
Anahtar kelimeler
Elektrokimyasal aşındırma, Silisyum, Yarı iletkenler, Electrochemical etching, Silicon, Semiconductors
Alıntı
URI
http://hdl.handle.net/11527/22665
Koleksiyonlar
FBE- Elektronik Mühendisliği Lisansüstü Programı - Yüksek Lisans