Silisyum'un yönlü aşındırılması ve mikroalgılayıcılar

Küçük Resim

Dosyalar

14425.pdf (3.88 MB)

Tarih

1991

item.page.authors

Süreli Yayın başlığı

Süreli Yayın ISSN

Cilt Başlığı

Yayınevi

Fen Bilimleri Enstitüsü

Özet

Açıklama

Tez (Yüksek Lisans) -- İstanbul Teknik Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, 1991

Konusu

Elektrokimyasal aşındırma, Silisyum, Yarı iletkenler, Electrochemical etching, Silicon, Semiconductors

Alıntı

URI

http://hdl.handle.net/11527/22665

Koleksiyonlar

FBE- Elektronik Mühendisliği Lisansüstü Programı - Yüksek Lisans

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By