İnce Filmlerin Sertliklerinin Derinliğe Duyarlı İndentasyon Yöntemi İle Belirlenirken Oluşabilecek Hataların Belirlenmesi

Abstract

Gelişmiş özelliklere sahip cihazlar kullanılarak uygulanan derinliğe duyarlı indentasyon yöntemi kaplamaların güvenilir bir şekilde karakterizasyonunu sağlar. Nitekim bu yöntemde ölçüm sonuçlarının doğruluğunu etkileyen bir çok etken bulunmaktadır. Bu çalışmada, numune pürüzlülüğünün indentasyon sonuçlarına etkisi incelenmiştir. İndentasyon izleri taramalı elektron mikroskobu ile görüntülenmiş, bu görüntülerden belirlenilen sertlik değerleri, derinliğe duyarlı indentasyon yöntemi ile belirlenen sertlik değerleri ile karşılaştırılmıştır. Belirlenen sertlik değerleri arasında fark gözlenmiş, bu farkın numune yüzeylerinin pürüzlülüğünden kaynaklandığı düşünülmüştür.

Depth sensing indentation, conducted using devices with enhanced accuracy and capabilities, contributes to the reliable characterization of coatings. In this method there are many parameters that significantly affect measurement reliability and thus may lead to errors in the evaluation of results. In this paper, the effect of specimen roughness on the accuracy of the indentation results is taken into account. The residual indentations were viewed with scanning electron microscopy (SEM) and the hardness values determined from residual indent areas were compared with values determined by depth sensing indentation method. The two methods show differences in the hardness values obtained, which is attributed to high roughness values of the specimens.