ZrO2 - TiO2 ince filmlerinin oluşturulması ve karakterizasyonu

Abstract

Sol-gel yöntemi taşıyıcı metal oksit kaplamalar yapmak için basit ve ekonomik bir film kaplama yöntemidir. Sol gel yönteminde reaksiyonlar küçük hacimlerde yapılabilmektedir. Bu kaplamalar yansıtıcı olmayan filmlerde elektrokromik, fotokromik, elektro optik cihazlar, ferroelektrik malzemelerde kullanılabilir. Bu çalışmada amaç Sol gel yöntemi ile saf Zr02,saf TİO2 ve karışık oksit(Zr02-Ti02) ince filmleri oluşturmak ve bunların film hazırlama yöntemine (Daldırma ve Döndürme Kaplama) ve hacimce konsantrasyon oranına göre optik özelliklerini karşılaştırmaktır.Zr02-Ti02 ince filmleri yüksek optik geçirgenliğe sahip olduklarından saydam elektrokromik aygıtlar için elverişlidir. Bu filmler hacimce farklı konsantrasyonlarda, farklı Sol gel yöntemiyle, farklı katmanlarda hazırlandı. Filmlerin karakterizasyonu için UV-Visible spektrofotometre kullanılmıştır. Optik geçirgenlik dalga boyu değişimlerinden yararlanarak oluşturulan filmlerin optik özellikleri(kırma indisi,absorpsiyon katsayısı,reel ve imaj iner dielektrik sabitleri,temel absorpsiyon kesim frekansları ) incelenmiştir. Optik sabitler Swanepoel yöntemine dayalı ve înce Film Araştırma Laboratuvar'mda geliştirilen bilgisayar programıyla hesaplanmıştır(ÎTÜ).

Sol gel process is a simple and economical method to prepare metal oxide coating on substrates. Reactions in sol gel process can be achieved at small volumes. The coatings can be used in antireflective films, electrochromic,photochromic,electrooptical devices and ferroelectrical materials. The purpose of this work is to produce pure Zr02,pure TİO2 and (Z1O2-TİO2 ) mixture of thin films from sol gel process and compare optical properties of the films with respect to preparation method (Dipping and spinning ) and volume rate of concentration Z1O2-TİO2 thin films,are suitable for transparent electrochromic devices.,due to their high optical transmittance. The films have been prepared by sol gel at various volume rate of concentrations for different layers.UV- Visible Spectrophotometer has been used to determine the characterization of the films. Optical properties (refractive index,absorbtion coefficient,reel and imaginary dielectrik constant),of the films have been investigated by evaluating the wavelength and optical transmittance data. Optical constants have been determined by Swanepo el method using a computer program developed in the Thin Films Research Laboratory(ITU)