Al2O3 katkılı ZrO2 ince filmlerinin optik özellikleri

Abstract

Bu çalışmada, AI2O3 katkılı Zr02 ince filmlerinin optik sabitleri incelenmiştir. Kaplanan filmlerin kalınlık, kırma indisi, söndürme katsayısı ve soğurma katsayısı gibi optik sabitlerini kontrol edebilmek, istenilen amaca uygun film kaplama açısından çok önemli olduğundan, çalışmamızın amacı, istenilen optik sabitlere sahip olan ince filmler üretmek için gerekli yöntemi, katkı oranını ve katman sayışım bulmaktı. Bu yüzden farklı yöntemlerle (daldırma ve döndürme), farklı katkı oranlarında (daldırarak kaplama için %1, 3, 5, 10, 15 ve 20; döndürerek kaplama için %5, 10, 15 ve 20) ve farklı katman sayılarında (her iki yöntem için de 9, 1 1, 13 ve 15 kat) kaplamalar yapılmıştır. Kaplanan numunelerin geçirgenlik ölçümleri alındıktan sonra, kullanılan yöntemler, katkı oranlan ve katman sayılan arasında optik sabitler bakımından bir kıyaslama yapılmıştır. Bu kıyaslama neticesinde istenilen özelliğe sahip film kaplamak için hangi değişkenlerin kullanılması gerektiği hakkında bilgi sahibi olunmuştur.

In the present work, optical constants of AI2O3 mixed Zr02 thin films have been studied. Since controlling of optical constants such as thickness, refractive index, coefficient of extinction and coefficient of absoption is very important to produce thin films suitable for desired aim, our primary aim was to answer the question, "which method, number of coatings and concentration are convenient to produce thin films having desired optical constants". That is why we made thin film coatings with different methods (dip coating and spin coating), at different concentrations (1, 3, 5, 10, 15 and 20% for dip coating; 5, 10, 15 and 20% for spin coating) and at different number of coatings (9, 1 1, 13, 15 coats for both methods). After taking transmittance data of the coated samples a comparison between the methods, concentrations and number of coatings have been made with respect to optical constants. In consequence of this comparison we have gained some information about which variables are suitable for coating thin films having desired optical canstants.