Elektron Demeti Buharlaştırma Yöntemi İle Üretilmiş Niti İnce-şekilli Filmlerin Faz Yapılarının Ve Optik Özelliklerinin Belirlenmesi

dc.contributor.advisor Kazmanlı, Kürşat tr_TR
dc.contributor.author Aydoğan, Özgen tr_TR
dc.contributor.department Malzeme Mühendisliği YL. tr_TR
dc.contributor.department Materials Engineering MSc. en_US
dc.date 2009 tr_TR
dc.date.accessioned 2009-10-09 tr_TR
dc.date.accessioned 2015-09-17T12:47:55Z
dc.date.available 2015-09-17T12:47:55Z
dc.date.issued 2009-10-09 tr_TR
dc.description Tez (Yüksek Lisans) -- İstanbul Teknik Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, 2009 tr_TR
dc.description Thesis (M.Sc.) -- İstanbul Technical University, Institute of Science and Technology, 2009 en_US
dc.description.abstract Bu çalışmada elektron demeti buharlaştırma sisteminde, eş atomluya yakın bileşimlerde NiTi hafızalı alaşımların ince ve şekilli ince filmler olarak üretilmesi; bu filmlerin faz yapılarının ve optik özelliklerinin saptanması amaçlanmıştır. Bütün kaplamalar Si tek kristal plakalar üzerine gerçekleştirilmiştir. Öncelikle istenilen bileşimde filmler elde etmek ve film bileşimi ile kaplama hızı arasındaki bağıntının saptanması için farklı kaplama hızlarında NiTi ince film kaplamalar üretilmiştir. Kaplama hızı düştükçe filmdeki Ti miktarının arttığı gözlemlenmiştir. Daha sonra eğik açılı biriktirme yöntemi ile istenilen bileşime uygun kaplama hızlarında ve sabit buhar geliş açılarında, spiral, zikzak, eğik ve bunların hibridi morfolojilerde şekilli ince filmler biriktirilmiştir. Düz filmler ısıl işlemle kristalize edilerek martenzik NiTi fazı ve ikincil fazlar gözlemlenmiştir. Şekilli filmlerde ise ısıl işlem sırasında altlık ile film arasında difüzyon gerçekleştiği ve Ni3Si fazı oluştuğu saptanmıştır. Bu sonuçlar doğrultusunda NiTi şekilli filmler uygun sıcaklıkta tavlanarak kristalize edilebilmeleri için altlık üzerine kaplanan NiTi düz ince katmanlar üzerine biriktirilmiştir. NiTi düz katmanlara iyon bombardımanı uygulanması ile yüzey pürüzlülüğü artırılarak 20 nm çaplarında kolonlar üretilmiştir. NiTi düz katman üzerine kaplanan şekilli filmlerde, kristalizasyonun sıcaklıkla arttığı ve Si ile difüzyonun engellendiği görülmüştür. Kristalin numunelerde NiTi, Ni2Ti, Ni4Ti3, Ti2Ni fazları gözlemlenmiştir. Optik reflektansın tavlama ile bir miktar değiştiği, şekilli filmlerin ise düz filmlere göre çok düşük optik reflektans değerleri sergiledikleri saptanmıştır. tr_TR
dc.description.abstract In this dissertation the aim is determination of phase structures and optical properties of NiTi thin and sculptured thin films at near equiatomic composition produced by E-beam evaporation system. All films are deposited on single crystal Si wafers. First, to obtain equiatomic composition and determine the relation between the deposition rate and film composition NiTi thin films are deposited at various deposition rates. It was determined that amount of Ti in thin films increases with decreasing deposition rates. Then STFs deposited by GLAD at constant vapour flux and deposition rates. Thin films crystallized by proper annealing have a phase distribution of martensitic NiTi and secondary phases. Ni3Si phase were observed due to diffusion between the substrate and the film at annealed STFs. To overcome this problem, Si substrates were first coated with NiTi thin films, then STFs with varying column structures were deposited on this layer. Surfaces of the NiTi thin film layers were subjected to ion bombardment prior to STF deposition, increasing it’s roughness enabling STF columns of 20 nm diameter to be deposited. Multi layered STFs crystallized by proper annealing. Crystallization ratio increased with increasing annealing temperatures. NiTi, Ni2Ti, Ni4Ti3, Ti2Ni phases was observed at crystallized samples. Optical reflectance changed by annealing and STFs displayed much lower reflectance than thin films. en_US
dc.description.degree Yüksek Lisans tr_TR
dc.description.degree M.Sc. en_US
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/11527/9425
dc.publisher Fen Bilimleri Enstitüsü tr_TR
dc.publisher Institute of Science and Technology en_US
dc.rights İTÜ tezleri telif hakkı ile korunmaktadır. Bunlar, bu kaynak üzerinden herhangi bir amaçla görüntülenebilir, ancak yazılı izin alınmadan herhangi bir biçimde yeniden oluşturulması veya dağıtılması yasaklanmıştır. tr_TR
dc.rights İTÜ theses are protected by copyright. They may be viewed from this source for any purpose, but reproduction or distribution in any format is prohibited without written permission. en_US
dc.subject Şekilli İnce Film tr_TR
dc.subject NiTi tr_TR
dc.subject Elektron Demeti Buharlaştırma tr_TR
dc.subject Sculptured Thin Films en_US
dc.subject NiTi en_US
dc.subject Electron Beam Evaporation en_US
dc.title Elektron Demeti Buharlaştırma Yöntemi İle Üretilmiş Niti İnce-şekilli Filmlerin Faz Yapılarının Ve Optik Özelliklerinin Belirlenmesi tr_TR
dc.title.alternative Determination Of Phase Structures And Optical Properties Of Niti Thin-sculptured Thin Films Produced By E-beam Evaporation en_US
dc.type Master Thesis en_US
Dosyalar
Orijinal seri
Şimdi gösteriliyor 1 - 1 / 1
thumbnail.default.alt
Ad:
9908.pdf
Boyut:
7.87 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Açıklama
Lisanslı seri
Şimdi gösteriliyor 1 - 1 / 1
thumbnail.default.placeholder
Ad:
license.txt
Boyut:
3.14 KB
Format:
Plain Text
Açıklama