TiO2 ve katkılı TiO2 ince filmlerinin hazırlanması ve karakterizasyonu

Abstract

Bu çalışmada teknolojideki etkin kullanımı nedeni ile VO2 katkılı TİO2 filmlerin optik özellikleri incelenmiştir. Geçirgenliği yüksek ve dayanıklılığı iyi bir malzeme olan TİÖ2 filmleri, hacimsel olarak değişik yüzde oranlarında VO2 ile katkılandırılmıştır..Hazırlanan sollerden daldırma (dip) ve döndürme (spin) yöntemleri ve değişik katman sayılarında oluşturulan filmlerin optik geçirgenlikleri 200 - HOOnm dalga boyu aralığında ve normal geliş halinde ölçülmüştür Geçirgenlik - dalga boyu eğrilerinden hesaplanan kırma indisleri, film kaplama yöntemi, katman sayısı (dolayısıyla kalınlık), döndürme hızı ve VO2 konsantrasyonuna bağlı olarak incelenmiştir. Elde edilen değerler, filmlerin kırma indislerinin yukarıda sıralanan parametrelere şiddetle bağlı olduğu gösterilmiştir.

In this work, we have investigated the optical properties of VO2 doped thin films because of their wide use in technology. TİO2 thin films, which have a hight transmittance capability and durability, have been prepared in various VO2 doping concentration percentages. The transmittance spectra of the films, which are prepared dip and spin coating technics from the sol, have been measured by the normal incidence UV-Visible Spectraphotometer between 200nm and HOOnm. The refractive index of the prepared thin films have been calculated from the transmittance - wavelength spectra. These films have been investigated with respect to the coating methods, number of layers, spin rate and concentration of VO2. The results show that the refractive index of the prepared films, strongly depend on these parameters.