FBE- Seramik Mühendisliği Lisansüstü Programı
Bu topluluk için Kalıcı Uri
Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı altında bir lisansüstü programı olup, sadece yüksek lisans düzeyinde eğitim vermektedir.
Gözat
Yazar "Çolak, Seniz" ile FBE- Seramik Mühendisliği Lisansüstü Programı'a göz atma
Sayfa başına sonuç
Sıralama Seçenekleri
-
ÖgeDc Reaktif Magnetron Sıçratma İle Ito Üretimi Ve Karakterizasyonu(Fen Bilimleri Enstitüsü, ) Çolak, Seniz ; Özgen, Serdar ; Seramik ; CeramicsBu tez çalışmasında reaktif DC magnetron sıçratma tekniği ile ITO ince filmler ve ITO-Metal-ITO çok tabakalı yapılar üretilmiştir. Çalışmada ITO ve ITO-metal-ITO çok tabakalı yapıların kalınlık - direnç ilişkisi ve görünür dalga boyu aralığında %ışık geçirgenlik (T), %film tarafı(r) ve %cam tarafı(rr) yansımalar ölçülmüştür. Bu ince filmlerin güneş pillerinde kullanılması düşünüldüğü ve bu nedenle ısıl işleme tabi tutulacağı için çeşitli sıcaklıklarda ısıl işlemler uygulanmış ve bu numunelerin ısıl işlem sonrası %ışık geçirgenlik (T), %film tarafı(r) ve %cam tarafı(rr) yansıma ölçümleri tekrarlanmıştır. Ayrıca bu numunelerde ısıl işlemin etkisini gözlemlemek amacı ile XRD çalışması da yapılmıştır. ITO filmlerde kalınlık artışı ile birlikte yüzey dirençlerinde bir azalma olmakta, ancak ITO-metal-ITO çok tabakalı yapılarda böyle bir ilişki elde edilememiştir. ITO filmlerde ve diğer üç tür ITO-metal-ITO çok tabakalı yapılarda kalınlık artışı ile birlikte %ışık geçirgenlik (T), %film tarafı(r) ve %cam tarafı(rr) yansıma eğrilerindeki pikler giderek sağa doğru kaymaktadır. Kalınlık artışı ile beraber ışık geçirgenlikleri azalmakta ve yansımalar ise fazla değişmemektedir. ITO-metal-ITO çok tabakalı yapılarda en az % ışık geçirgenliği kaybı 2126 numaralı ITO-CrNi-ITO numunesinden alınmıştır. Isıl işlem sonrası ince filmlerin %ışık geçirgenlik (T) değerlerinin arttığı gözlenmiştir. Bu durum, ısıl işlem sonucu oksidasyonun artışı nedeniyledir. % film tarafı(r) ve %cam tarafı(rr) yansıma değerlerinin ise önemli oranda değişmediği gözlenmiştir. Sonuç olarak ısıl işlem sonucu yansımalarda dikkate değer bir değişim olmazken ışık geçirgenliği artmış, absorbsiyon ise azalmıştır. ITO ve ITO-metal-ITO çok tabakalı yapılardan elde edilen X ışınları paternleri 44-1087 ve 06-0416 referans numaralı In2O3 paternleri ile uyum içinde olduğu görülmüştür. X ışınları diyagramında kalay pikine rastlanmaması kalayın, sistemde amorf halde bulunması nedeniyledir. Çok tabakalı yapılarda kullanılan CrNi, Ag ve Cu’ a ait herhangi bir pike rastlanmamasının nedeni sistemdeki bu metallerin ağırlıkça oranının %3’ün çok altında olması nedeniyledir. Üretilen ince filmlerin XRD çalışmasında amorf olarak bulunması nedeniyle pik vermeyen kalay, EDS analizi sonucunda ağırlıkça %10 olarak saptanmıştır. CrNi, Ag ve Cu miktarının sistemde %1’ in çok altında olması nedeniyle EDS analizi sonucunda bu bileşenlerin varlığı saptanmamıştır.