Bir basınç algılayıcının diyafram boyutlarının belirlenmesi

dc.contributor.advisor Özdemir,  hakan tr_TR
dc.contributor.author Tarım, Tuna B. tr_TR
dc.contributor.authorID 39583 tr_TR
dc.contributor.department Biyomedikal Mühendisliği tr_TR
dc.contributor.department Biomedical Engineering en_US
dc.date 1994 tr_TR
dc.date.accessioned 2020-09-24T09:17:36Z
dc.date.available 2020-09-24T09:17:36Z
dc.date.issued 1994 tr_TR
dc.description Tez (Yüksek Lisans) -- İstanbul Teknik Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, 1994 tr_TR
dc.description Thesis (M.Sc.) -- İstanbul Technical University, Institute of Science and Technology, 1994 en_US
dc.description.abstract Mikroelektronik teknolojisindeki hızlı gelişim sa dece elektroniğin gelişmesini sağlamakla kalmamış; aynı zamanda elektroniğin diğer bilim dallarıyla olan etkile şimlerini de arttırmıştır. Bu ise ortaya yeni teknolojik ürünler çıkarmıştır. Mikromekanik düzenler bu yeni tek nolojik Ürünlerden birisidir. Mikromekanik düzenler kısa geçmişlerine rağmen ilerisi için büyük umut vaadeden ve günümüzde de oldukça çok kullanılan düzenlerdir. Bunlar arasında basınç algılayıcıları en geniş kullanıma sahip düzenler olarak dikkat çekmektedir. Mikromekanik düzenlerin tasarımındaki ilk adım, me kanik düzenlerin boyut opti mi zasyonudur. Tasarlanacak düzenin görevi belirlendikten ve kullanılacak malzeme ile teknoloji tespit edildikten sonra, en iyi performansı sağlayacak şekilde boyutları belirlemeye geçilir. Tezin konuya giriş amaçlı ilk bölümünden sonra, i- kinci bolümde, konunun mekanik olarak anlaşılmasını sağ layacağı düşünülen açıklamalar yer almaktadır. Silisyum günümüzde mi kr oelektronikte kullanılan en temel malzeme dir. Mikromekanik düzenlerin Üretilmesinde mi kr oelektro nikte kullanılan teknolojiler kullanılmaktadır. Üçuncü bolum, mikromekanik yapıların Üretilmesinde kullanılan silisyumun mekanik özelliklerinin ayrıntılı açıklamasını içermektedir. Dördüncü böl üm mikromekaniğin uygulama a lanlarını anlatmaktadır. Günümüzde, mikromekanik düzen ler arasında en çok uygulama alanına sahip olanlardan bi risi basınç algılayıcılarıdır; bu konu beşinci bolümde e le alınmıştır. Bu tezin esas konusu, basınç algılayıcı nın diyafram boyutlarının belirlenmesidir. Bu konuyla ilgili yapılan çalışmalar altıncı bol Umde anlatılmıştır. Son bolum, tez konusuyla ilgili olarak yapılan çalışmala rın genel bir değerlendirmesidir. tr_TR
dc.description.abstract Digital computers and memories based on silicon technology have made an incredible impact on our daily- lives. The driving force of the progress is the needs of industrial areas that have become dependent on electronic circuits. From microwave ovens to the guidance systems of airplanes, silicon microprocessors and memories have been introduced into a great number of products. However the continuing development in these industrial areas re quires input/output devices Csensors and actuator sD which interface the electronic circuitry with the external worl d. Silicon mi cr ©mechanics is a fabrication technology in which integrated circuit manufacturing methods are used in producing mechanical structures made of silicon along with electronic circuits. First silicon mi cr ©mechanical structures were made in the late 1960s and they were used in biomedical appli cations. The Sensors & Actuators Center at University of California-Berkeley has produced the first working micro- turbine in June 1988. Since then, this technology has been developing in a very rapid pace. The earliest and most commercially successful appli cation of silicon mi cr ©mechanics is pressure sensors. Silicon diaphragms in semiconductor pressure sensors are used in a great variety of applications, e.g., to measure pressure, force, fluid level, flow velocity and acoustic signals. They are used mainly in automotive engineering, though they also find use in medical engineering, marine and auronautical engineering, hydraulics and recently in industrial instrumentation. They cover about 40% of the entire sensor market. en_US
dc.description.degree Yüksek Lisans tr_TR
dc.description.degree M.Sc. en_US
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/11527/18676
dc.language tur tr_TR
dc.publisher Fen Bilimleri Enstitüsü tr_TR
dc.publisher Institute of Science and Technology en_US
dc.rights Kurumsal arşive yüklenen tüm eserler telif hakkı ile korunmaktadır. Bunlar, bu kaynak üzerinden herhangi bir amaçla görüntülenebilir, ancak yazılı izin alınmadan herhangi bir biçimde yeniden oluşturulması veya dağıtılması yasaklanmıştır. tr_TR
dc.rights All works uploaded to the institutional repository are protected by copyright. They may be viewed from this source for any purpose, but reproduction or distribution in any format is prohibited without written permission. en_US
dc.subject Basınç tr_TR
dc.subject Biyomedikal mühendisliği tr_TR
dc.subject Makromekanik teknolojisi tr_TR
dc.subject Silisyum tr_TR
dc.subject Pressure en_US
dc.subject Biomedical engineering en_US
dc.subject Macromechanic technology en_US
dc.subject Silicon en_US
dc.title Bir basınç algılayıcının diyafram boyutlarının belirlenmesi tr_TR
dc.title.alternative Design of a silicon diaphragm pressure sensor en_US
dc.type Thesis en_US
dc.type Tez tr_TR
Dosyalar
Orijinal seri
Şimdi gösteriliyor 1 - 1 / 1
thumbnail.default.alt
Ad:
39583.pdf
Boyut:
13.09 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Açıklama
Lisanslı seri
Şimdi gösteriliyor 1 - 1 / 1
thumbnail.default.placeholder
Ad:
license.txt
Boyut:
3.16 KB
Format:
Plain Text
Açıklama