İyon Demeti Destekli Manyetik Alanda Sıçratma Yöntemiyle (ti,mg)n İnce Filmlerin Üretilmesi, Yapısal Ve Biyoaktivite Özelliklerinin Belirlenmesi

Abstract

Bu çalışmanın amacı, TiN ve (Ti,Mg)N kaplamalar üretmek, yapısal karakterizasyon ve biyo-aktivite özelliklerini incelemektir Deneysel çalışmanın ilk aşamasında, saf TiN ve farklı oranlarda Mg içeren (Ti,Mg)N kaplamalar, iyon demeti destekli manyetik alanda sıçratma yöntemiyle üretilmiştir. Filmlerin, morfolojileri, faz yapıları, alan emisyonlu taramalı elektron mikroskobu, düşük açılı x-ışınları difraksiyonu (XRD) ve mikro raman spektrumu ile araştırılmıştır. Saf Ti, TiN ve farklı %Mg oranlarına sahip (Ti,Mg)N kaplamalara, yapay vücut sıvısı (SBF) içerisinde in-vitro biyoaktivite testi uygulanmıştır. In-vitro biyoaktivite karakterizasyonu sonucunda numune yüzeyinde oluşan tabakanın hangi faza ait olduğunun belirlenmesi amacıyla ince film ataçmanlı düşük açılı x-ışınları difraksiyonu (XRD) ve mikro raman spektrumu analiz yöntemleri numunelerin yüzeyine çökelen partiküllerin faz yapısını incelemek için kullanılmıştır. Yüzeyin mikro yapısal incelemesi için taramalı elektron mikroskobu (SEM) kullanılmıştır. In-vitro biyoaktivite testi sonucunda numune yüzeyinde oluşan fazların moleküler bağ karakterizasyonunun belirlenmesi için FTIR kullanılmıştır.

The aim of this study is to produce TiN and (Ti,Mg)N thin films and determine the structure and bioactivity of the films. In the first stage of the experimental studies, pure TiN and (Ti,Mg)N films with different %Mg contents were produced by ion beam assisted dual magnetron sputtering deposition technique. The morphology and phase structure of the coatings was investigated by using field emission scanning electron microscopy (FE-SEM), micro raman spectroscopy and glancing angle X-ray diffraction (XRD) with thin film attachment. In order to investigate the bioactivity of TiN, (Ti,Mg)N coatings with different %Mg contents and pure Ti metal, samples were investigated by in-vitro characterization in simulated body fluid (SBF). The thin film X-Ray Diffraction (TF-XRD) analysis and micro raman spectroscopy were used to investigate the phases which were precipitated on the surfaces of the samples. Microstructure analysis of the surfaces was conducted by using scanning electron microscope (SEM). FT-IR technique was used for molecular bonding characterization.