Tin-sb Nanokompozit İnce Filmlerin Hibrit Yöntemle Kaplanması Ve Karakterizasyonu
Tin-sb Nanokompozit İnce Filmlerin Hibrit Yöntemle Kaplanması Ve Karakterizasyonu
Dosyalar
Tarih
Yazarlar
Daryal, Mehmet Barış
Süreli Yayın başlığı
Süreli Yayın ISSN
Cilt Başlığı
Yayınevi
Fen Bilimleri Enstitüsü
Institute of Science and Technology
Institute of Science and Technology
Özet
Bu çalışmada, katodik ark ve manyetik alanda sıçratma yöntemleri hibrit kullanılarak, fiziksel buhar biriktirme yöntemi ile TiN-Sb nano kompozit ince film kaplamalar üretilmiştir. Üretilen kaplamaların karakterizasyon işlemleri gerçekleştirilmiştir. Antimon artışına bağlı olarak değişen titanyum nitrür tane boyutunun kaplama sertliği ve yapısına olan etkileri gözlenmiştir.
In this study using hybrid-coating system of cathodic arc and magnetron sputtering TiN-Sb nanocomposits are produced. On TiN-Sb nanocomposit thin films characterization tests are performed. Hardness and structural changes based on the changing grain size due to antimony content is scanned.
In this study using hybrid-coating system of cathodic arc and magnetron sputtering TiN-Sb nanocomposits are produced. On TiN-Sb nanocomposit thin films characterization tests are performed. Hardness and structural changes based on the changing grain size due to antimony content is scanned.
Açıklama
Tez (Yüksek Lisans) -- İstanbul Teknik Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, 2005
Thesis (M.Sc.) -- İstanbul Technical University, Institute of Science and Technology, 2005
Thesis (M.Sc.) -- İstanbul Technical University, Institute of Science and Technology, 2005
Anahtar kelimeler
Nanokompozit,
Fiziksel Buhar Biriktirme,
Titanyum Nitrür,
Antimon,
Hibrit Sistem,
Nanocomposit,
Physical Vapour Deposition,
Titanium Nitrade,
Antimony,
Hybrid-Coating