Elektriksel Olarak Aktive Olan Kiriş Tipi Mems Anahtarların Tasarım Ve Simulasyonu

dc.contributor.advisor İkizoğlu, Serhat tr_TR
dc.contributor.author Ertanır, Ayşe Özgül tr_TR
dc.contributor.authorID 406028 tr_TR
dc.contributor.department Kontrol ve Otomasyon Mühendisliği tr_TR
dc.contributor.department Control and Otomation Engineering en_US
dc.date 2011 tr_TR
dc.date.accessioned 07.07.2011 tr_TR
dc.date.accessioned 2015-06-15T17:07:55Z
dc.date.available 2015-06-15T17:07:55Z
dc.date.issued 08.07.2011 tr_TR
dc.description Tez (Yüksek Lisans) -- İstanbul Teknik Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, 2011 tr_TR
dc.description Thesis (M.Sc.) -- İstanbul Technical University, Institute of Science and Technology, 2011 en_US
dc.description.abstract Bu çalışmada, yarıiletken sanayinde çokça kullanılan bir malzeme olan katkılı polisilikon elektrot ve tabandan oluşan bir MEMS (Mikro Elektro Mekanik Sistemler) anahtarlama yapısı incelenmiştir. Ayrıca üretim sırasında farklı malzemelerin elektriksel iletim ve yalıtım özelliklerinden yararlanılmıştır. Uygulanan elektriksel kuvvet ile aktif hale gelen anahtarlama yapılarında aynı zamanda mekanik olarak da incelenmiştir. MEMS anahtarların mekanik olarak incelenmesi sonucu, anahtar yapısının boyutları önemli hale gelmiştir. Bu nedenle MEMS anahtarların üretimi sırasında bu boyutların mekanik ve elektriksel özelliklerini kıyaslayabilmek için, tasarımda farklı boyutlu yapılar oluşturulmuştur. Üretim sırasında standart yarıiletken tümdevre yapılarında kullanılan malzemeler kullanılmıştır. Tasarım öncesi istenilen elektriksel ve mekanik parametrelerin analizi için CoventorWare simülasyon programı kullanılmıştır. Ayrıca üretim aşamaları taramalı elektron mikroskobu (SEM) kullanılarak görüntülenmiştir. Sonuçları literatürdeki çalışmalarla karşılaştırdığımızda, yarıiletken sanayinde kullanılan süreçlerin MEMS üretiminde de kullanılabileceği görülmüştür. tr_TR
dc.description.abstract In this study, cantilever beam switch which has doped polysilicon metarials for top and bottom electrode is investigated. Polysilicon is also used in semiconductor device fabrication. Different types of metarials are searched for mechanical and electrical properties. Cantilever beam switch is activated by electrostatic force. Because of this electrostatic force, mechanical force is also became an important issue for microelectro mechanical systems. Also switch dimensions are important parameters for design and fabrication of cantilever beam switch. For this purpose to get optimal value for design electrical and mechanical parameters CoventorWare simulation program is used before fabrication. Process steps are imaging with SEM (Scaning Electron Microscopy). Fabrication of cantilever beam switch is can be used for semiconductor device fabrication. The comparison of the results with the exampes given in the literature was in a good agreement. en_US
dc.description.degree Yüksek Lisans tr_TR
dc.description.degree M.Sc. en_US
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/11527/5316
dc.publisher Fen Bilimleri Enstitüsü tr_TR
dc.publisher Institute of Science and Technology en_US
dc.rights İTÜ tezleri telif hakkı ile korunmaktadır. Bunlar, bu kaynak üzerinden herhangi bir amaçla görüntülenebilir, ancak yazılı izin alınmadan herhangi bir biçimde yeniden oluşturulması veya dağıtılması yasaklanmıştır. tr_TR
dc.rights İTÜ theses are protected by copyright. They may be viewed from this source for any purpose, but reproduction or distribution in any format is prohibited without written permission. en_US
dc.subject MEMS tr_TR
dc.subject Kiriş tipi anahtarlama yapıları tr_TR
dc.subject Elektromekanik sistemler tr_TR
dc.subject MEMS en_US
dc.subject Cantilever Beam Switch en_US
dc.subject Electro Mechanical Systems en_US
dc.title Elektriksel Olarak Aktive Olan Kiriş Tipi Mems Anahtarların Tasarım Ve Simulasyonu tr_TR
dc.title.alternative Design And Simulation Of Electrostatically Actuated Mems Cantilever Beam Switch en_US
dc.type Thesis en_US
dc.type Tez tr_TR
Dosyalar
Orijinal seri
Şimdi gösteriliyor 1 - 1 / 1
thumbnail.default.alt
Ad:
11864.pdf
Boyut:
3.81 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Açıklama
Lisanslı seri
Şimdi gösteriliyor 1 - 1 / 1
thumbnail.default.placeholder
Ad:
license.txt
Boyut:
3.16 KB
Format:
Plain Text
Açıklama