Sıcak Filaman Kimyasal Buhar Biriktirme Yöntemi İle Tac Üretimi Ve Karakterizasyonu

dc.contributor.advisor Ürgen, Mustafa tr_TR
dc.contributor.author Keskin, Berk tr_TR
dc.contributor.authorID 10001869 tr_TR
dc.contributor.department Malzeme Bilimi ve Mühendisliği tr_TR
dc.contributor.department Material Science and Engineering en_US
dc.date 2011 tr_TR
dc.date.accessioned 2013-05-29 tr_TR
dc.date.accessioned 2015-05-21T13:55:39Z
dc.date.available 2015-05-21T13:55:39Z
dc.date.issued 2013-08-16 tr_TR
dc.description Tez (Yüksek Lisans) -- İstanbul Teknik Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, 2011 tr_TR
dc.description Thesis (M.Sc.) -- İstanbul Technical University, Institute of Science and Technology, 2011 en_US
dc.description.abstract Bu çalışmanın amacı SFKBB yöntemi kullanarak Tantal Karbür (TaC) kaplamalar üretebilmektir. Deneylerde Si (111) altlık kullanılmıştır. Kaplamalarda kullanılan altlıklar, hem üzerlerindeki oksit varlığında hem de asit dağlama ile oksidin giderilmiş olduğu durumda kullanılmıştır. Ta-C kaplama üretimi için kullanılan diğer yöntemlerden farklı olarak SFKBB haznesindeki Ta filaman; hidrojen ve metan varlığında, farklı sıcaklık ve toplam basınç değerlerinde buharlaştırılmıştır. Kaplamalar sırasında elmas oluşturmaya izin vermeyecek H2/CH4 oranları kullanılmaya özen gösterilmiştir. Kaplamalar, XRD, Raman Spektroskopisi, optik profilometre, mikro sertlik ve SEM kullanılarak incelenmiştir. Yapılan deneyler sonucunda 200-600 nm arasındaki kalınlıklarda, değişik oranlarda karbon içeren TaC yapısında kaplamalar elde edilebileceği ilk defa bu çalışma kapsamında ortaya konulmuştur. tr_TR
dc.description.abstract The aim of this study is to produce tantalum carbide (TaC) coatings by using HFCVD method. Si (111) substrate is used in the study. Substrates that are used in coatings are both used, while they contain oxide and after oxide is removed by acide etching. As distinct from other methods which are used to produce TaC coatings, Ta filament in HFCVD chamber is vaporized in the presence of hydrogen and methane, in different temperature and total pressure values. Proper H2/CH4 proportions to avoid diamond generations are elaborately used over the course of coatings. Coatings are examined by using XRD, Raman Spectroscopy, optic profilometry, micro hardness and SEM. Within the scope of this experiment, it is shown that TaC structured for the first time. The coatings which contain different amounts of carbon, in 200-600 nm thickness, might be produced. It is observed that temperature and pressure have influence on film thickness and increasing methane concantration has influence on thickness and glassy carbon formation. Surface roughness and hardness of treated samples with acid take lower values than not treated samples. An increase in crystallite size is observed in conditions of high methane concentration and temperature. Morphologically, significant columnar grain structure is found in high proportions of pressure and methane. en_US
dc.description.degree Yüksek Lisans tr_TR
dc.description.degree M.Sc. en_US
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/11527/2741
dc.publisher Fen Bilimleri Enstitüsü tr_TR
dc.publisher Institute of Science and Technology en_US
dc.rights İTÜ tezleri telif hakkı ile korunmaktadır. Bunlar, bu kaynak üzerinden herhangi bir amaçla görüntülenebilir, ancak yazılı izin alınmadan herhangi bir biçimde yeniden oluşturulması veya dağıtılması yasaklanmıştır. tr_TR
dc.rights İTÜ theses are protected by copyright. They may be viewed from this source for any purpose, but reproduction or distribution in any format is prohibited without written permission. en_US
dc.subject ince film kaplama tr_TR
dc.subject kimyasal buhar biriktirme tr_TR
dc.subject TaC tr_TR
dc.subject thin film coating en_US
dc.subject chemical vapour depostion en_US
dc.subject TaC en_US
dc.title Sıcak Filaman Kimyasal Buhar Biriktirme Yöntemi İle Tac Üretimi Ve Karakterizasyonu tr_TR
dc.title.alternative Deposition And Characterization Of Tac With Method Of Hot Filament Chemical Vapor Deposition en_US
dc.type Thesis en_US
dc.type Tez tr_TR
Dosyalar
Orijinal seri
Şimdi gösteriliyor 1 - 1 / 1
thumbnail.default.alt
Ad:
13510.pdf
Boyut:
8.58 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Açıklama
Lisanslı seri
Şimdi gösteriliyor 1 - 1 / 1
thumbnail.default.placeholder
Ad:
license.txt
Boyut:
3.14 KB
Format:
Plain Text
Açıklama