Mems’e Bağlı Olan Rezonant Magnetik Ölçen Sensorı

dc.contributor.advisor Trabzon, Levent tr_TR
dc.contributor.author Ghalehbeygi, Omid Tayefeh tr_TR
dc.contributor.authorID 453964 tr_TR
dc.contributor.department Biyomedikal Mühendisliği tr_TR
dc.contributor.department Biomedical Engineering en_US
dc.date 2012 tr_TR
dc.date.accessioned 2013-01-10 tr_TR
dc.date.accessioned 2015-04-21T12:00:37Z
dc.date.available 2015-04-21T12:00:37Z
dc.date.issued 2013-01-11 tr_TR
dc.description Tez (Yüksek Lisans) -- İstanbul Teknik Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, 2012 tr_TR
dc.description Thesis (M.Sc.) -- İstanbul Technical University, Institute of Science and Technology, 2012 en_US
dc.description.abstract Bu çalışmanın amacı, çift tarafdan kenetlenmiş rezonans manyetik sensorların mikro veya nano boyutlarda üretim teknoloji yöntemlerinin incelenmesidir. Bu tez kapsamında, monolitik üretim teknolojisi içinde CMOS devre yapısına uyumlu, çeşitli MEMS sistemlerinin tasarımları, üretimleri ve simülasyonları yapılmıştır. Üretilen Mikrosistemlerin mekanik ve elektriksel karakterizasyonları da tamamlanmıştır. Tasarlanan her bir tip mikrosistem Sonlu Elemanlar Metodu ile COMSOL ve COVENTORWARE yazılımları kullanılarak simulasyonları yapılmıştır. Bu tezde, her yapının birinci rezonans frekansları, maksimum akıma karşı dayanaklılığı, kalite faktörünün gerilim ile bağıntısı, ve özellikle mikrosistemin karakteristik parametrelerin çubuklar üzerinde olan deliklerin boyutları, çubuğun uzunluk yönünün ya da genişliğinin değiştirilmesi ile incelenmiştir. Deneysel ölçümler analiz sonuçları ile karşılaştırmalı biçimde değerlendirilmiştir. Bunun yanında, kapsamlı bir literatür çalışması yapılmıştır ve gelecekte yapılan bu tarz sensorların nasıl bir özelliğe sahip olmaları gerektiğini belirleyebiliriz. tr_TR
dc.description.abstract This thesis explains the new and several designing membrane and beams, which have been designed by ourselves by cadence software. Furthermore, all of the structures were fabricated by MEMS based, which are CMOS compatible characteristics. Also along the fabrication most of the sensors has been simulated by two softwares COMSOL and Coventorware that in both of them simulation is done by finite element method (FEM). During the simulation many behavior of the each structure such as natural frequency, maximum current endurance before smashing, and their displacements, with and without of the initial stress and effect of the dimension of the perforation were defined. we implement practical measurement with Polytec 500 device to compare outputs with simulation results. The principle of working of this devise is on base of Doppler velocimetry and interfering waves. In conclusion, we investigated each sample’s features such as; first mode resonance frequency, maximum applicable current, quality factor and displacement versus sample’s geometric and their inside perforation size. Thus, we have lots of data, which can be utilized in future for similar sensors to have an idea about their probable features. en_US
dc.description.degree Yüksek Lisans tr_TR
dc.description.degree M.Sc. en_US
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/11527/830
dc.publisher Fen Bilimleri Enstitüsü tr_TR
dc.publisher Institute of Science and Technology en_US
dc.rights İTÜ tezleri telif hakkı ile korunmaktadır. Bunlar, bu kaynak üzerinden herhangi bir amaçla görüntülenebilir, ancak yazılı izin alınmadan herhangi bir biçimde yeniden oluşturulması veya dağıtılması yasaklanmıştır. tr_TR
dc.rights İTÜ theses are protected by copyright. They may be viewed from this source for any purpose, but reproduction or distribution in any format is prohibited without written permission. en_US
dc.subject Comsol tr_TR
dc.subject MEMS tr_TR
dc.subject Birinci Rezonans Frekansı tr_TR
dc.subject MEMS en_US
dc.subject Comsol en_US
dc.subject First Resonance Frequency en_US
dc.title Mems’e Bağlı Olan Rezonant Magnetik Ölçen Sensorı tr_TR
dc.title.alternative Mems Based Clamped-clamped Resonant Magnetometer en_US
dc.type Thesis en_US
dc.type Tez tr_TR
Dosyalar
Orijinal seri
Şimdi gösteriliyor 1 - 1 / 1
thumbnail.default.alt
Ad:
13171.pdf
Boyut:
1.85 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Açıklama
Lisanslı seri
Şimdi gösteriliyor 1 - 1 / 1
thumbnail.default.placeholder
Ad:
license.txt
Boyut:
3.14 KB
Format:
Plain Text
Açıklama