Bakırın Katodik Ark Alüminyum Plazma İşlemi İle Al-cu Bileşiklerinin Üretimi

dc.contributor.advisor Ürgen, Mustafa tr_TR
dc.contributor.author Arpat, Erdem tr_TR
dc.contributor.authorID 413559 tr_TR
dc.contributor.department Malzeme Bilimi ve Mühendisliği tr_TR
dc.contributor.department Material Science and Engineering en_US
dc.date 2011 tr_TR
dc.date.accessioned 2011-09-20 tr_TR
dc.date.accessioned 2015-05-21T13:59:01Z
dc.date.available 2015-05-21T13:59:01Z
dc.date.issued 2011-10-03 tr_TR
dc.description Tez (Doktora) -- İstanbul Teknik Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, 2011 tr_TR
dc.description Thesis (PhD) -- İstanbul Technical University, Institute of Science and Technology, 2011 en_US
dc.description.abstract Bu çalışmada, katodik ark fiziksel buhar biriktirme (KA-FBB) tabanlı bir iyon kaynağı değişen bias voltajları etkisi ile taban malzemeye biriktirilip bombardıman edilmiştir. İyon bombardımanı etkisi ile altlık yüzeyinde boşluk ve hatalar oluşturulmuş, çarpışma şelaleleri ve beraberindeki ısıl odaklar ile sıcaklığı artan yapıya biriktirilen tabakanın daha hızlı yayınması sağlanmıştır. Örnek olarak Al-Cu ikilisi kullanılmıştır. Çalışmada, 25 ve 50 mikron bakır folyo taban malzemeye ile 30 ve 60 sn/ 6 sn sürelerince tekrarlı olarak -50 ve 150 V/ -300 ve 500 V bias voltajlarının etkisi ile alüminyum biriktirilmesi/ bombardımanı uygulanmıştır. 30 ila 130 dakika toplam sürelerince kaplama/ bombardıman işlemi uygulanmıştır. Homojenizasyonun sağlanması için vakum ortamında 700 ̊C de 1, 6 ve 24 saat sürelerince tavlama ve kontrollü soğutma işlemi uygulanmıştır. Asimetrik ve simetrik geometriler kullanılarak x-ışını difraksiyon tayfları alınmış, yüzey ve kesitten SEM ve EDS ile inceleme ve noktasal ve çizgisel elementel analizler alınmıştır. alfa1-Cu, beta1-AlCu3, gamma1-Al4Cu9, delta-Al2Cu3 ve eta2-Al3Cu4 fazlarının elde edildiği tespit edilmiştir. Kesitleri parlatılmış numunelerin mikro sertlikleri alınmıştır. Alüminyum içeriğinin artışı ile sertlik değerlerinde artış gözlenmiştir. tr_TR
dc.description.abstract In this study, an ion source created in a cathodic arc physical vapor deposition system is used to deposit and bombard a substrate material. Defects and voids are generated on the substrate by ion bombardment and collusion cascades with accompanying thermal spikes advanced the structure’s temperature and diffusion. Al-Cu binary couple was selected as an example. Depositing and bombarding of aluminum plasma were utilized under -50 and 150 V/ -300 and 500 V bias voltages for 30 and 60 s/ 6 s respectively an 25 and 50 micron copper foil substrates. Depositing/ bombardment runs were from 30 to 130 minutes in total. Homogenization of the structures were done at 700 ̊C for 1, 6 and 24 hours and by a controlled cooling under vacuum. XRD scans of thin film and bulk geometries were utilized as well as point and lincescan EDS analysis were done both on surfaces and cross-sections. alfa1-Cu, beta1-AlCu3, gamma1-Al4Cu9, delta-Al2Cu3 ve eta2-Al3Cu4 phases were obtained throughout the study. Micro indentaion test were done on cross sections for identification of hadness values of the phases obtained. An increase was seen as aluminum content of the sturucture increased. en_US
dc.description.degree Doktora tr_TR
dc.description.degree PhD en_US
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/11527/2867
dc.publisher Fen Bilimleri Enstitüsü tr_TR
dc.publisher Institute of Science and Technology en_US
dc.rights İTÜ tezleri telif hakkı ile korunmaktadır. Bunlar, bu kaynak üzerinden herhangi bir amaçla görüntülenebilir, ancak yazılı izin alınmadan herhangi bir biçimde yeniden oluşturulması veya dağıtılması yasaklanmıştır. tr_TR
dc.rights İTÜ theses are protected by copyright. They may be viewed from this source for any purpose, but reproduction or distribution in any format is prohibited without written permission. en_US
dc.subject KA-FBB tr_TR
dc.subject İyon Bombardımanı tr_TR
dc.subject Al-Cu tr_TR
dc.subject İntermetalik fazlar tr_TR
dc.subject Mikro-Sertlik tr_TR
dc.subject CA-PVD en_US
dc.subject Ion Bombardment en_US
dc.subject Al-Cu en_US
dc.subject Intermetallics en_US
dc.subject Micro-Hardness en_US
dc.title Bakırın Katodik Ark Alüminyum Plazma İşlemi İle Al-cu Bileşiklerinin Üretimi tr_TR
dc.title.alternative Production Of Al-cu Compounds With Cathodic Arc Aluminium Plasma Treatment Of Copper en_US
dc.type Thesis en_US
dc.type Tez tr_TR
Dosyalar
Orijinal seri
Şimdi gösteriliyor 1 - 1 / 1
thumbnail.default.placeholder
Ad:
12046.pdf
Boyut:
7.28 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Açıklama
Lisanslı seri
Şimdi gösteriliyor 1 - 1 / 1
thumbnail.default.placeholder
Ad:
license.txt
Boyut:
3.14 KB
Format:
Plain Text
Açıklama