Karbon Esaslı Filmlerin Üretimi Ve Karakterizasyonu

Abstract

Elmas benzeri karbon kaplama genel anlamda yüzey özelliği olarak suyu sevmeyen yani hidrofobiktir. Bu çalışmanın amacı elmas benzeri karbon kaplamayı nano boyutta üreterek hidrofobik olan yüzey özelliğini hidrofiliğe çevirmektir. Literatürde hidrofobiklikten hidrofilik tarzı yüzey özelliğine geçiş, yüzeyi plazma ortamına maruz bırakarak veya katkılama yöntemi ile elde edilmektedir. Alüminyum yüzeyinde anodizasyon yöntemi ile por oluşturmak, bunların içerisini RF-KBB yöntemi ile doldurmak ve sonucunda elde edilen nanodesenli yapılarla hidrofilik yüzey elde edilmesi ilk kez denenen bir yöntemdir. Elde edilen nanodesenli yapıların yüzey özellikleri, kimyasal yapıları, ıslatma açıları ve ışık geçirgenlikleri incelenmiştir.

Generally diamond like carbon ‘does not like water’ in other words it is hydrophobic. Aim of this study is to produce DLC films in nanoscale to change the surface property from hydrophobic to hydrophilic. An extensively performed literature research has revealed 2 possible ways to achieve a surface property change from hydrophobic to hydrophilic. One of them is coating the surface while it is exposed to plasma treatment, the second way is doping it with various elements during plasma treatment. By an anodization method nano-sized pores are formed on Al surface, and are deposited with DLC coating by RF-CVD, thus getting a diamond like carbon coating nanopattern structure. It has never been tried before so it is first attempt using this method. Diamond like carbon nanopattern structures are characterized wih respect to chemical, surface properties, contact wetting angle and transmission of films.