Bu çalışmada, Al katkılı ZnO ince filmler soda kireç silika ve bora silika camlar üzerine sol-gel döndürerek kaplama yöntemi ile hazırlanmıştır. Kullanılan solün bağ yapısını anlamak ve filmlere uygulanacak ısıl işlem parametrelerini belirlemek için Diferansiyel Isısal Analiz ve Isısal Ağırlık Analizleri gerçekleştirilmiştir. Numuneler X-ışınları Difraksiyonu (XRD) ile analiz edilmiştir. Filmlerin yapısal, optik ve elektriksel özellikleri üzerine, tavlama sıcaklığının, tavlama atmosferinin, Al konsantrasyonunun ve döndürme hızının etkisi incelenmiştir. Bazı numuneler Cs-137 radyoizotopu kullanılarak radyasyona maruz bırakılmıştır ve gama radyasyonu karşısındaki optik davranışları incelenmiştir. Ayrıca Atomik Güç Mikroskobu (AFM) ile radyasyon işlemi sonrasında filmlerin morfolojileri incelenmiştir. Mekanik özelliklerini incelemek için pusluluk testleri ve EU (Avrupa Standartları) standartlarına göre aşınma testleri gerçekleştirilmiştir. Bu çalışmada optimum işlem parametrelerinin belirlenmesi amaçlanmıştır ve literatür çalışmaları ile karşılaştırıldığında, sonuçların uyumluluk içinde olduğu gözlenmiştir.