Bu çalışmada, düşük sıcaklıklarda konvansiyonel nitrürleme işlemlerinin AMS 5662 ve AMS 5663 ısıl işlemlerine tabi tutulmuş Inconel 718 alaşımlarının yüzey özelliklerine etkisi incelenmiştir. Nitrürleme işlemleri gaz ve ısı taşıyıcı olarak Al2O3 partikülleri içeren akışkan yatak tipi bir fırında %60 amonyak + %40 azot gaz karışımı atmosferinde 375, 400, 450 ve 500°C sıcaklıklarda 10 saat süre ile yapılmıştır. AMS 5662 ve 5663 Inconel 718 alaşımlarının nitrürlenme sonrası yüzeylerinde oluşan nitrürlenmiş bölge ve tabakalar, taramalı elektron mikroskobu (SEM), X-ışınları difraksiyonu (XRD) analizi, mikrosertlik deneyleri ve yüksek sıcaklık aşınma testi ile karakterize edilmiştir. Sonuç olarak, düşük sıcaklık nitrürleme işlemenin gerek sertlik ve gerekse de aşınma direnci açısından Inconel 718 süper alaşımında uygulanabilecek bir yüzey sertleştirme işlemi olup, bu alaşım 600°C’de üstün yüzey özelliklerini uzun süreler emniyetli olarak koruyabilmektedir.