Bu çalışmada, AISI H13, AISI P20 ve AISI L6 kalite takım çeliklerine uygulanan nitrürleme işleminin, malzemelerin yüzey özellikleri, aşınma ve korozyon dirençleri üzerine etkileri incelenmiştir. Nitrürleme işlemleri, içerisinde gaz ve ısı taşıyıcı olarak alümina (Al2O3) partiküllerini içeren akışkan yatak tipi bir fırında, amonyak+azot gaz karışımı kullanılarak, düşük sıcaklıklarda ve konvansiyonel nitrürleme sıcaklığında gerçekleştirilmiştir. Nitrürleme işlemlerinden sonra, numunelerin yüzey özellikleri, aşınma ve korozyon dirençleri belirlenmiş ve sonuçlar işlemsiz durumlarıyla karşılaştırılmıştır. Sonuç olarak, düşük sıcaklıkta yapılan nitrürleme işlemlerinin söz konusu özellikleri geliştirmede, konvansiyonel işlemine göre, daha etkili olduğu görülmüştür. Çalışma kapsamında ayrıca, düşük sıcaklıkta nitrürlenen AISI 316L ostenitik paslanmaz çeliğinin kuru ve korozif aşınma davranışları incelenmiştir. Elde edilen sonuçlar işlemsiz durumuyla karşılaştırıldığında; nitrürlenmiş numunenin hem kuru hem de korozif ortamda aşınma direncinin önemli oranda geliştiği tespit edilmiştir.