FBE- Malzeme Mühendisliği Lisansüstü Programı

Bu topluluk için Kalıcı Uri

http://hdl.handle.net/11527/195
Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Ana Bilim Dalı altında bir lisansüstü programı olup, sadece yüksek lisans düzeyinde eğitim vermektedir.

Gözat

Yazar "Abdullahoğlu, Muhammet Ragıp" ile FBE- Malzeme Mühendisliği Lisansüstü Programı'a göz atma
  • Öge
    Mikro Ölçekte Elektrosprey Sistemi Üretimi Ve Karakterizasyonu
    (Fen Bilimleri Enstitüsü, 2012-02-27) Abdullahoğlu, Muhammet Ragıp ; Kızıl, Hüseyin ; 423835 ; Malzeme Mühendisliği YL. ; Materials Engineering MSc.
    Kapiler bir tüpün içerisinde bulunan iletken sıvıya yüksek voltaj uygulandığında kapilerin ucunda oluşan elektrik alandan dolayı sıvı koni şekline dönüşür. Eşik voltajı aşıldığında koni şeklindeki sıvının tepesinden yüklü sıvı parçacıklar ayrılmaya başlar. Bu olaya elektrosprey adı verilmektedir. Tek bir kapiler uçta oluşturulan elektrosprey yeterince verimli olmadığı için pratik olarak kullanımı azdır. Bundan dolayı ortak bir sistem içerisinde bir anda birden fazla elektrosprey oluşturma ihtiyacı oluşmuştur. Bu anlamda bugüne kadar yapılan çalışmalarda 3 farklı türde çoklu elektrosprey sistemi geliştirilmiştir. Bunlar lineer dizilimli, multi-jet modu ve düzlemsel dizilimli elektrosprey sistemleridir. Bu tez çalışmasında hedeflenen çoklu düzlemsel elektrosprey sisteminin parçalarından nozül ve ekstraktör elektrodunun RİDA (Reaktif İyonlar ile Derin Aşındırma) yöntemi ile üretimidir. Bu anlamda çalışmanın ilk bölümlerinde elekstrosprey oluşumu teorik ve matematiksel detayına girmeden anlatılmıştır. Ardından elektrospreyin, aşındırma yöntemlerinin, RİDA yönteminin ve elektrosprey sisteminin üretim prosesleri ile alakalı tarihten günümüze yapılan çalışmalar ve elde edilen gelişmeler konusunda bilgiler verilmiştir. Ardından elektrosprey sisteminin üretiminde kullanılan aşındırma işleminden detaylı olarak bahsedilmiştir. Bu başlık içerisinde ıslak ve kuru aşındırma yöntemleri karşılaştırılmış; bunun yanında kuru aşındırma adı altında bulunan siyah silisyum yöntemi, kriyojenik aşındırma ve Bosch prosesi’nin avantajları ve dezavantajları üzerinde durulmuştur. Yapılan bu karşılaştırmalar sonucunda kuru aşındırma yöntemlerinden Bosch prosesi’nin (diğer adı RİDA) çoklu elektrosrprey sistemi üretimi için diğerlerine nazaran uygun olduğu ortaya çıkarılmıştır. RİDA işleminde kullanılan işlem parametrelerinin aşındırma prosesine etkileri detaylı olarak anlatılmıştır. RİDA parametreleri: RFcoil, RFbias, basınç, aşındırma ve pasivasyon gaz debileri, altlık sıcaklığı, DC bias voltajı, aşındırma ve pasivasyon adım süreleridir. Bütün bu parametrelerin altlık ve maskenin aşındırma hızına, profil anizotropisine, yüzey pürüzlülüğü ve uniformluğuna, seçiciliğine ve kırılma mukavemetine etkileri anlatılmıştır. Bu çıkarımlar sonucunda mikro ölçekte çoklu elektrosprey sisteminin tasarımı ve kullanım alanları açısından ne tür sınırlamaları olduğu, bu sınırlamalara karşı nasıl bir tasarımın ve tasarım kriterlerinin olması gerektiği araştırılmıştır. Bu anlamda söz konusu tasarım kriterlerine uygun olarak elektrosprey sistemi parçalarından nozül ve ekstraktör elektrodunun RİDA yöntemi ile üretiminden bahsedilmiştir. Son bölümde literatür çalışmalarından elde edile veriler ışığında oluşturulan proses adımlarından ve bu prosese uygun olarak deneysel ve üretim çalışmalarından elde edilen sonuçlardan bahsedilmiştir. Yapılan çalışmalar neticesinde 250 nozül/cm2 yoğunlukta düzlemsel elektrosprey sisteminin parçalarının üretimi başarılmıştır.