Publication: Silisyum'un yönlü aşındırılması ve mikroalgılayıcılar
Loading...
Files
Date
Authors
Advisor
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Fen Bilimleri Enstitüsü
Type
Abstract
Description
Tez (Yüksek Lisans) -- İstanbul Teknik Üniversitesi, Fen Bilimleri Enstitüsü, 1991
Subject
Elektrokimyasal aşındırma, Silisyum, Yarı iletkenler, Electrochemical etching, Silicon, Semiconductors