FBE- Elektrik Mühendisliği Lisansüstü Programı - Yüksek Lisans
Bu koleksiyon için kalıcı URI
Gözat
Yazar "Akyol, Muhammed" ile FBE- Elektrik Mühendisliği Lisansüstü Programı - Yüksek Lisans'a göz atma
Sayfa başına sonuç
Sıralama Seçenekleri
-
ÖgeMems Resonator Hatalarının Elektriksel Analizi(Fen Bilimleri Enstitüsü, 2009-01-09) Akyol, Muhammed ; İkizoğlu, Serhat ; Elektrik Mühendisliği ; Electrical EngineeringBu tez, silikon tabanlı mikroelektromekanik cihazlarının temelinde kullanılan MEMS resonator MEMS resonatorun bir üretimini anlatmaktadır. Bunun yanında MEMS Resonatorun DC polarizasyon voltaji ile birlikte elektriksel eşdeğerini içermektedir. Burada anlatılan resonatorler, micro-flap ve bridge yapısal özelliklere sahip MEMS resonatorlerdir. Bu tezde, Silisyum yüzeyde meydana gelen parazitik etkinin ana resonator modelden ayrı olarak iyi bir şekilde belli parametreler ile modellenmesi anlatılmıştır. Simülasyon frekansı, deney sonuçularındaki frekans ile aynıdır. Bu sonuçlar analiz edilince, parazitik kapasitansın devrenin frekans cevabını etkilediği belirlenmiştir. Parazitik etkiler resonator frekansını azalttığı anlaşılmaktadır. Resonatorlerin modellenmesi, osilator devreli filtreler için çok önemlidir. Bundan sonra elde edilen formüllerle ideal resonator devresinin değerleri ortaya çıkarılmıştır. Son adım olarakta model de tanımlanan değerlerinin belli aralıklarla değiştirilmesi ile ideal resonator devresinin meydana gelen degişimler gözlemlendi. Daha sonra bu değerleri, Öklid, Canberra ve Karesel uzaklık fonksiyonları ile analizi yapılarak bu değerler tablo olarak sunulmuştur. Burada yapılan analiz yöntemi, herhangi bir MEMS Resonator arızasının tesbiti konusunda yeni bir bakış sunmaktadır.